CVD设备是芯片制造薄膜沉积蠢族唤工艺的核心设备,全球市场主要带凯由国外厂商垄断,国产替代需穗备求强烈。”有行业内人士表示。招商证券也在研报中提出,薄膜沉积设备被海外AMAT、LAM、TEL、ASM等龙头垄断。同时,相较于清洗等其他设备,薄膜沉积市场空间更大,国内有望因此涌现出较大的成长空间。
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