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胂(化合物)

胂(化合物)

胂,arsenic hydride,分子式AsH3,分子量77.95。砷烷用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。用于有机合成、军用毒气,及应用于科研或某些特殊实验中。

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