1966年1月出生,博士,研究员,博士生导师,国家科技重大专项“极大规模集成电路装备及成套工艺”总体组专家,国家“光刻设备产业技术创新战略联盟”秘书长,上海微电子装备有限公司副总工程师。中国光学学会制造技术专业委员会常务委员。
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1966年1月出生,博士,研究员,博士生导师,国家科技重大专项“极大规模集成电路装备及成套工艺”总体组专家,国家“光刻设备产业技术创新战略联盟”秘书长,上海微电子装备有限公司副总工程师。中国光学学会制造技术专业委员会常务委员。
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