氮化硅膜(Silicon nitridc film)是指硅氮化合物的薄膜，常用作微电子技术电绝缘层。化学计量比的氮化硅由正方氮化硅晶胞组成，多余的硅原子在其中排列成六方结构。
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氮化硅膜
Simone
发布于 2023-06-19 14:54:29
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