Bosch工艺是指在集成电路制造中为了阻止或减弱侧向刻蚀，设法在刻蚀的侧向边壁沉积一层刻蚀薄膜的工艺。因最早由Robert Bosch提出，亦被称为Bosch工艺。
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Bosch工艺
Simone
发布于 2023-06-18 16:58:15
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